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干涉顯微鏡表面光潔度的測(cè)定方法
發(fā)布時(shí)間:2020-10-28 10:25:48 文章分類： 點(diǎn)擊數(shù)：
精密加工過的試樣表面粗糙度常用干涉顯微鏡進(jìn)行測(cè)量。電解拋光、化學(xué)
拋光過的試樣表面質(zhì)量也可以用干涉顯微鏡進(jìn)行鑒定。如果表面有微小的谷峰
存在就會(huì)造成干涉條紋彎曲，根據(jù)測(cè)量干涉條紋彎曲的程度，即可測(cè)到光潔度。
關(guān)鍵詞：
干涉顯微鏡，表面光潔度，測(cè)量，金屬表面
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